日本三丰白光干涉光学单元 WLI-Unit
日期:2024-08-13 人气:924 收藏
WLI-unit-003
554-002
WLI-unit-005
554-003
WLI-unit-010
主要特点
利用白光干涉的非接触式高精度精细表面纹理测量→3D形状测量、3D粗糙度测量
高度测量精度与光学放大倍率无关
即使使用低倍率镜头也可进行高 Z 分辨率测量
高纵横比测量
支持高纵横比形状测量,检测不依赖于光学系统的数值孔径
抗干扰振动的高鲁棒性
小巧轻便