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日本ORC紫外线照度计 UV照度计 光量计 UV-M03A
日期:2023-05-29 人气:546 收藏

紫外照度计/照度计UV-M03A

紧凑、轻便、便携的测量仪器。它适用于管理生产现场配备 UV 灯的设备。请用它来控制紫外线灯的紫外线照射量(照度/光强度)。


◆ 特点


・ 可以轻松管理曝光设备的照度和光量,是一款小巧轻便的便携型。
・ 可以轻松测量紫外线照度和光强度。
・ 根据您正在使用(或您计划使用)的光源和抗蚀剂的灵敏度,选择 UV-25、35 或 42 的接收器。但UV-SN25、UV-SN35、UV-SN42用于电子线路(印刷)板制造工艺,UV-SD25、UV用于半导体、液晶基板制造工艺-推荐选择 SD35、UV-SD42
・ 测量数据可以通过 RS-232C 通信输出传输。
・ 它还具有模拟输出。


◆ 关于SD型和SN型


 SN型已被长期使用我们的曝光和辐照设备的客户广泛使用,确保了过程管理的连续性。
 SD 型推荐给在半导体和液晶基板制造过程中已经使用其他公司制造的照度计的客户,以及重视确保与这些测量仪器(我们的曝光设备)的数据兼容性的客户。但是,SD 型适用于投射式曝光装置和液晶基板用周边曝光装置),推荐给刚开始使用照度计的客户。


◆ 关于SD型和SN型的指示值


 对于SN型,SD型的指示值用于确保与旧过程数据的兼容性(在与我们测量组用作校准辐射源的高压紫外灯的365nm发射线相同的测量条件下测量.照度 调整为显示时比


◆ 与其他公司生产的照度计的数据兼容性


 与可见光照度计(以 LUX 为单位测量家庭、办公室、商店、博物馆等亮度的照度计)不同,适用于所有紫外线照度计的标准尚未建立(似乎 JIS 转换工作正在为有限的用途而完成)。
 即使各公司的相对光谱灵敏度是为了测量主要由 365 nm 发射线组成的光源的照度而制作的,测量峰值波长(其相对光谱灵敏度特性由 1 表示的波长),短波长侧(300nm~310nm左右)和长波长侧(380nm~400nm左右)前后的上升和下降波长和曲线略有不同。
 在设计方面也做出了努力,使接收器的受光角特性,称为COSθ特性,更接近理想曲线,但现实是没有实现。


◆ 规格


接收器(可更换)UV-SD35 (UV-SN35)
测量波长范围310-385nm
测量照度范围0.001 至 50mW/ cm2
测量光强范围0.001 至 19999 mJ/ cm2
对准精度在我们的紫外线标准的 ±1.5% 以内
重复性±1.5%以内


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